據(jù)報道，SK海力士在2020年以約22.2億元人民幣的價格收購了錦湖石油化學(xué)的電子材料業(yè)務(wù)部門。最近，據(jù)The Elec報道，SK海力士開發(fā)的厚氟化氪（KrF）光致抗蝕劑（PR）已經(jīng)通過了該公司的質(zhì)量檢驗。
三星所使用的是Dongjin semhem公司的產(chǎn)品，該產(chǎn)品與SK海力士的KrF PR類似，厚度約為14至15微米。SK海力士將核心材料的研發(fā)工作交由其子公司進(jìn)行，這使得其旗下的存儲器產(chǎn)品在市場上比競爭對手更具有競爭力。隨著明年存儲器市場逐漸恢復(fù)正常，SK海力士的KrF PR銷售額也將隨之增長。此外，日本的JSR公司也正在研發(fā)其自己的PR產(chǎn)品，該產(chǎn)品的厚度為10微米。
在NAND閃存的生產(chǎn)過程中，需要使用更加“厚”一些的PR，因為這樣更適合進(jìn)行堆疊。例如，在生產(chǎn)100層的NAND芯片時，一層層制作的成本會變得更高，而更厚的PR則可以讓存儲器制造商一次性制造多個層。然而，更厚的PR具有更高的粘度，這會對均勻性產(chǎn)生負(fù)面影響，因此在開發(fā)過程中面臨更大的挑戰(zhàn)。
目前，SK海力士的計劃是將KrF PR用于238層NAND閃存芯片的生產(chǎn)，并將JSR作為次要供應(yīng)商，兩種產(chǎn)品都將被使用。目前，SK海力士每月生產(chǎn)約5000片238層NAND閃存的晶圓，隨著KrF PR的引入，預(yù)計產(chǎn)量將大幅度提高。此外，SK海力士還在推動其他半導(dǎo)體生產(chǎn)所需的關(guān)鍵材料的國產(chǎn)化工作。
據(jù)悉，SK海力士早在去年8月，就已宣布成功研發(fā)全球首款業(yè)界最高層數(shù)的238層NAND閃存，并向合作伙伴發(fā)送238層512Gb TLC 4D NAND閃存的樣品。
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